专卖全自动高温炉管_口碑好的全自动高温炉管合肥真萍电子供应

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►晶圆尺寸:200mm,300mm

►一个腔体->晶圆数量:8”:75片,12”:50片

►工作温度范围:150℃~400℃

►**xisWTR

设备：
尺寸：可定制重量（kg）：2500-3500
晶圆：
尺寸：12”，数量：12”->50

配置：
装/卸量：12”->2盒
WTR（移动范围）
：X,Y,θ,ZAxis(沿X轴移动，绕Y轴移动并旋转。）

机械手臂
：可选项1个手臂2个手


工艺空间
：加热腔

滤网：*过滤器
升降机器人
：晶舟升/降

晶圆缓存区
：侧面缓存
电离期：硅芯盒装
工艺参数：
工艺温度：150~400℃(±4℃)

温度均匀度：±3℃

氧含量：≤20PPM




*技术细节变动之处，恕不另行通知，具体设备参数以咨询结果为准。
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