Advanced Energy直流电源

AE 的直流电源产品主要通过物理气相沉积市场上主要使用的物理气象沉积工艺——合金溅射以及与有反应气体参与的反应溅射，AE直流电源包括：

一、直流脉冲产品套件

AE 的脉冲产品系列具有各种功能，能够满足您所有的困难和各式各样的工艺要求。这个灵活的直流脉冲附件系列提供 10-200kW 的功率以及 2-100kHz 的固定和可变频率。这个系列的每一项产品在设计上均具有相当的特点，能够针对反应和直流溅射提供经证实的优势。

二、ASCENT AP（**脉冲）电源

2013年，AE 通过采用双极性脉冲直流技术为双极磁控溅射带来了新的技术革新，提供了**的等离子体控制技术。Ascent AP电源在紧凑的单/双极磁控溅射方案中引入了额外的控制参数，使得功率输出较加优化。Ascent AP具有**的脉冲技术，可以主动抑制电弧，其广泛的工作范围使得该电源可以应用于许多材料，拓展了制程的灵活性以及材料的不断**。

三、拥有Arc Management System 技术的 Ascent 直流电源

强大的 Ascent 直流电源专门用于易产生电弧的工艺制程，它可以提供稳定功率，以获得可重复的高质量薄膜。严格的质量控制过程确保可达到较高**性。Effective Arc Management System 功能可以熄灭电弧，防止不必要的薄膜损坏或制程中断。同时 Set Point Compensation 技术可以平衡设**与溅射率，即使在电弧非常频繁的情况下也能做到这一点。Ascent 电源配备了多种用户界面和虚拟**板软件，易于设置和操作。您可以选择主/从装置，或利用 Arc-Sync 技术以多个相邻的阴极调节电源。不管您的配置如何，均可使用 Ascent 电源获得稳定、可重复的电源。

四、Pinnacle 系列

业界公认的 Pinnacle 直流电源平台具有**的工艺一致性和控制功能，从而大大减少了工艺变化，提高了产量。这个紧凑、功能强大的套件提供了业界较低的存储能量、较快的弧反应以及较广的全功率运行阻抗范围。

五、Pinnacle Plus+

Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有**的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率较高，重复性能较好，薄膜质量较为优异。

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