日本小野 激光测长仪 LV-8600

产品介绍

LV - 8600 是设计成装入**微精度的半导体制造设备或精密机床中的传感器式的激光测长仪。利用以激光波长为基准的干涉法，实现高分辨率和**。具有安装简单、价格*的特点。 
特点
较长可测 10 ｍ

实现较大 5 ｍ/ｓ的跟踪速度

对应于高速定位控制

在整个速度范围内的分辨率为 0.08μｍ

采用了干涉仪一体型光学头，光轴对中简单

降**格约 1/2(与本公司的产品比较)

 
结构
 
概要规格
跟踪速度
0 ～ ±5 m/s
分辨率
0.07910 μｍ(λ/8、电的4倍乘时) λ 在传感器头上个别记载
光轴偏差许可值离光束中心 ±0.5 mm以内(使用 LV-0812 时)
精度 *1
±0.1 μｍ ± 0.2 ppm × 距离量程
0 ～ 10 ｍ(传感器头部**的**距离，在使用 LV-0812 时)
光源
He-Ne 激光射出光功率 1 mW 以下(级2) 波长 λ＝ 632.8 nm
输出信号
AB相矩形波信号 相位差 90°±3°以内 *2 (LVDS 型差动线性驱动器输出)AB相正弦波信号 (输出阻抗 50 Ω、输出电平 ±0.5 Ｖ 以上 )
使用电源
AC 85 ～ 132 V、170 ～ 264 Ｖ 47 ～ 63 Ｈｚ  消耗电力  70 VA
使用温度
＋5 ～ ＋35℃ (传感器头、本体)
湿度范围
5 ～ 90 ％(不结露)
外形尺寸
本体： 160 (Ｗ) × 88 (Ｈ) × 220 (Ｄ) ㎜
传感器头： 85 (Ｗ) × 81 (Ｈ) × 218 (Ｄ) ㎜
重量
本体： 约 1.7 ｋｇ
传感器头： 约 1.8 ｋｇ
＊1：温度 ＋20℃/气压 1013.25 hpa /湿度 56.8 ％ 的条件下
＊2：LV-8600 输出信号波形
 
选 购 件
型 号名 称用 途LV-0812光束扩大器6倍将激光直径变成 φ6 mm，可以在**距离 0 ～ 10 m 范围内都可测定。LV-0855LV-8600 用计数器卡信号线是将 LV-8600 的 A、B 相矩形波信号输入计数器卡(接头Box)用的信号线。 (LV-0852 计数器卡带1根信号线)LV-0801角锥体φ 4装在小型、轻量的测试物上，使激光向传感器头部反射之用。(重量为0.2 g 以下)LV-0802角锥体φ 7装在测试物上，使激光向传感器头部反射用。(重量为2 g 以下)NP-0010粘接蜡将角锥体粘接在测试物上用。LV-0831动特性分析软件用位移速度及加速度分析测定物之动特性，同时对应于2张计数器卡。LV-0833时间系列数据处理软件使用以LV-0831(动特性分析软件)所测定、保存的数据，进行数据之叠写、FFT分析、通道间运算等数据上的处理。LV-0852计数器卡 PCMCIA 用计数LV-9110A的Up/Down信号或LV-8600的A、B 相矩形波信号。与动特性分析规律组合使用，用1 张卡可接到2台测长仪上。附带一根LV-8600用计数器卡信号线 LV-0855 。LV-0853高分辨率计数器卡 PCMCIA 用由LV-9110A的Up/Down 信号、phase信号，可对移动位移量以0.01 μm的高分辨率计数。与动特性分析软件组合使用，1张卡可接2台测长仪。带1根LV-9110A 用计数器卡信号线 LV-0854 。LV-0822传感器头对中夹具使光轴头的光轴调整方便的夹具。LV-0016Z轴微调台可使传感器上下**定位。LV-0017大型三脚架在无底座的场所，放置传感器之用。 
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加工定制 否 ** 日本小野 型号 LV-8600 测量范围 激光测长仪 准确度 激光测长仪

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