【精科物光】WGL光电轮廓仪(2007BCEIA金奖产品) 光学仪器

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1、本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能**测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。
2、适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
3、由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和**分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。
型号
WGL
在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1 / 4波长的高度突变时：
1000一1nm
相邻二象素之间含有大于1 / 4波长的高度突变时：
130一1nm
测量的重复性：
δRa≤0.5nm
物镜倍率:
40X
数值孔径:
Φ65
工作距离:
0.5mm
仪器视场 目视:
Φ0.25mm
摄象:
0.13×0.13mm
仪器放大倍数 目视:
500×
摄象（计算机屏幕观察）
2500×
接收器测量列阵:
1000X1000
象素尺寸:
5.2×5.2μm
测量时间采样（扫描）时间:
1S
仪器标准镜    反射率（高）:
～50 %
反射率（低）:
～4 %
照明光源:白炽灯
6V 5W
绿色干涉滤光片波长:
λ≒530nm  
半宽度
λ≒10nm

型号 : WGL ;
** : 上海物光 ;
加工定制 : 否 ;

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