张家口真空规

PGE300 大气压至中真空真空计
INFICON 皮拉尼测量仪加强型 300 (PGE300) 像比它较大的 brotherP GE500 一样配备了市场上的数字对流增强型皮拉尼技术。PGE300 配备与 PGE500 相同的传感器组件，以在 100 至 1000 mbar 的测量范围中获得同样高准确度的读数。PGE300 仅提供真空行业的大多数用户追求的关键内置功能，以限度地降*和提率。这种坚固的仪表和传感器设计结合工厂内置的清晰读数 LED 显示屏、3 种可选模拟输出信号和设**继电器，使得 PGE300 成为所有客户的高/低拥有成本选择，而不于 OEM 客户。这些特点使该仪表适合众多需要低真空度真空度范围的经济型真空测量功能的应用。由于测量范围较广且准确度较高（尤其是在低压条件下），同时内置价格实惠的功能，因此在替代真空系统中的热电偶仪表时，PGE300 也是的主动真空计。
应用
任何需要在很宽的范围内测量压力的真空系统。
对于可能要将真空计直接集成到制程控制器中的工业 OEM 而言， WRG 成为一种明智的选择。
WRG 适合在多种 HV 和 UHV 应用领域中使用。但是，如果制程在 5x10-4 和 5x10-3mbar 之间花费的时间非常多，Edwards 建议采用立的 APG100 皮拉尼真空计和 AIM 潘宁真空计，因为这样将提高真空计在应用中的可靠性。

特点
电子模块直接安装在压力计管件上，简化了系统设计，节省了宝贵的机架空间
范围广泛、符合标准的内部电源供给使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电，可承受电压波动
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC，并提供故障输出指示
具有真空状态 LED 的可调整设**可以用于制程控制和联锁，它包括数字真空状态信号，可以直观查看设**读数
低输出阻抗和集成的法拉*屏蔽提供别的抗扰性，并允许电缆长度达到 100 m
中压和低压压力计管件的选择。ATC-D 涵盖 50 到 5 x 10-2 Torr，而 ATC-M 涵盖 1 到 10-3 Torr

应用
前级真空测量（低真空测量）
真空系统回路
电离真空计连锁应用
测真空的一般应用

应用
ASG隔膜真空计是在需要对接近大气压的压力进行与气体无关的测量时的出色选择，十分适合于负载锁定这样的应用中。
它可用作立的传感器，便于 OEM 和系统承建商开发灵活的*解决方案，满足其真空设备的需求。另外，它还可以连接到 TIC 仪器控制器，与其他很多类型的传感器结合使用，提供全面的真空仪器解决方案
VSP 1000到1x10-4mbar 皮拉尼
应用实例
塑料元件经常被加以金属镀膜，这抑或出于美观考虑，抑或为了屏蔽敏感元件免受干扰。
挑战
金属镀膜是在一个PVD镀膜系统中进行。它首先由一个旋片泵通过旁路抽至10-2mbar。然后由涡轮分子泵进一步抽至10-5 mbar。镀膜工艺通常在2x10-4 mbar下进行，此时需要连续地真空状态，以确保镀膜工艺持续不断地高质量运行。为了避免涡轮分子泵**负荷，例如在不恰当的系统压力下切换到分子泵等，旁路中的压力以及涡轮分子泵的前级真空都需要被。
解决方案
用一个VSP 皮拉尼真空规控制旁路中的真空是否足以切换到涡轮分子泵。另一个VSP直接在涡轮分子泵处分子泵所需要的前级真空。一个VSM宽量空规测量系统内的极限真空度以及在镀膜过程中的压力。一台VD10多通路真空计用来做控制模块。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
前级真空控制
真空系统中的安全开关

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