问题来了为什么要求恒温恒湿
净化车间空调是温湿度控制的心脏,要求精度高,故障率低。所以必须要求空调能调节制冷量,市面上已有两种方式:一种是变频调节;另一种是冷冻水调节方式。净化车间的温湿度在满足加工工艺的条件下,应该考虑人舒不舒服。
随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0。24um线性膨胀,所以必须有±0。1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。然而对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)**外部的压力(静压)。
压力差的维持一般应符合以下原则:
1、洁净度级别高的空间的压力要**相邻的洁净度级别低的空间的压力。
2、相通净化车间之间的门要开向洁净度级别高的房间。
3、洁净空间的压力要**非洁净空间的压力。 压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这一压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量通过净化车间的各种缝隙时的阻力。
对于乱流净化车间由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这一概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:
1、送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减较快,扩散角度较大。
2、吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这一速度一般不宜大干0。2m/s。
在我国,《空气洁净技术措施》和<洁净厂房设计规范))都是这样规定的垂直平行流(层流)净化车间≥0。25m/s;水平平行流(层流)净化车间≥0。35m/s。
恒温恒湿净化车间温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜**过25度。
湿度过高产生的问题更多。相对湿度**过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度**30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产佳温度范围为35—45%。
青岛洁净净化技术有限公司凭借一贯的高标准、严要求、规范化生产管理及在生产实践中结合国内外生产经验所建立起来的完整、规范的生产体系,确保了企业生产的每一件产品都是高质量,符合国家标准。在长期的坚守中,形成产品生产质量规范化,顺利通过了ISO9001**质量管理体系认证。
21世纪在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、**航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。
恒温恒湿车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。净化车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。净化车间根据区域环境、净化程度等因素,为若干等级
恒温恒湿车间的构成是由下列各项系统所组成:
(1)1150型彩钢板天花板系统,配净化铝材。
(2)空调系统:包括过滤器系统、送风及回风系统。
(3)1150型彩钢板隔墙板:包括固视窗、彩钢板门。
(4)地板:包括高架地板或防静电PVC地板。
(5)照明器具:包括净化灯、日光灯、应急灯、安全出口灯、指示灯等。
(6)传递窗、风淋室、货淋室等净化设备安装工程
青岛洁净净化技术有限公司,公司成立于2010年,注册资本金880万元,并经上级主管部门审核批准**,青岛洁净经过12年的努力,逐渐成为净化行业的老牌企业、信得过企业,公司是集空气净化系统技术的研发,净化工程的咨询与设计,工程安装施工,配套产品制造,工程售后服务于一体的**与施工企业。 本公司技术力量雄厚,生产设备装备精良,检验设备完善,公司现有员工150余人,其中各类中技术人员30多名,下设技术研发部,设计部,工程施工部,销售部,部,人力行政部,采购部,售后服务部等8个部门,及设**械产品加工制造工厂,下设6支施工队伍,多名设计师,持证项目管理人员及项目经理,并长期聘用净化行业人员为技术顾问。 公司主要承揽:电子洁净厂房,GMP净化车间、医院手术部和ICU净化工程、精密仪器场所空气净化、精细化工行业净化车间、食品加工车间彩钢板隔断及净化工程、场所净化、生化实验室的净化工程、动物实验室空调净化厂房,P1-P3负压生物安全实验室、恒温恒湿净化厂房及实验室、商业场所环境等需要各种级别空气净化场所的设计、施工、售后服务。主要生产的配套产品有风淋室,风淋通道,货淋室,**净工作台,传递窗,风口,层流罩,洁净棚,FFU,采样车,初、中、亚、、化学过滤器。铝合金风口、调节阀、、及空调各功能段。 我们本着“信誉至上”的原则,坚持“以科学为手段、以市场为导向、一切为客户着想”的方针,以“一站式”服务的宗旨,竭诚为客户提供服务、全面的系统化服务,我公司认真对待每一个产品,每项工程,以**用户信赖。