高精度气体质量流量计Alicat

内置98种气体
可现场标定混合气体（较多5种成分），并存储20种混合气
可测范围宽，0.01~**满量程
可选高精度：**0.5%读数
响应时间快，**10 ms
高品质数字化应用
M系列气体质量流量计同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度，可用流量量程跨度宽，内置多种气体校准，使得这款流量计成为您实验室的**设备。

准确 - 流量测量具有NIST可溯源精度，适用于低至满量程1/200th的各种气体，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

使用简单 - 只要您打开流量计，流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

连接 - 艾里卡特M系列气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；

性能指标
流量精度：±0.8% R.D and ±0.2% F.S（用于0.5 sccm-5sccm 和 50slm-5000slm ） ； ±0.6% R.D and ±0.1% F.S（用于10 sccm-20slm ）
重复性：±(0.2% R.D + 0.02% F.S)（用于0.5 sccm-5sccm 和 50slm-5000slm ；±(0.1% R.D + 0.02% F.S)（用于10 sccm-20slm ）
控制范围：0.01–**F.S
响应时间：<10 ms；与流量相关
温度精度：±0.75°C
压力精度：±0.5 %R.D（＞ 1 Atm）/ ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）
工作温度：−10–60°C
预热时间：<1 s

电气参数
供电电压：9–24 VA （如果配备 4–20 mA / 0-10V输出，则为12-24V）
供电电流：40mA（如果配备 4–20 mA / 0-10V输出，额外加40mA）
数字通讯：RS-232 ； RS-485 ； Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
模拟通讯：4–20 mA； 0–5 V；1–5 V； 0–10 V
电气接口：6 pin locking； 8 pin mini-DIN； 8 pin M12；DB-9；DB-15