电话咨询 钦州172nm准分子灯晶圆清洗

准分子灯具有选择性作用。给定波长的紫外线可以选择性地激发物种或产生所需的自由基。此类灯可用于光物理和光化学处理，例如油漆、清漆和粘合剂的紫外线固化、清洁和修改表面特性、漆和油漆的聚合以及各种污染物的光降解。可以使用不同的波长对聚合物进行光蚀刻：氙准分子为172nm，氯化氪为222nm，氯化氙为308nm。准分子紫外光源可用于微结构化大面积聚合物表面。
在紫外光谱区发射的光源广泛用于涉及光化学过程的技术，例如油墨、粘合剂、清漆和涂层的固化、光刻、电介质的紫外诱导生长、紫外诱导表面改性和清洁或材料沉积。非相干紫外源与激光源相比具有一些优势，因为它们成本低、照射面积大且易于使用，尤其是在设想大规模工业过程时。
汞灯(λ=253.7nm)是广泛传播的紫外线源，但其生产、使用和处理旧灯对人类健康和环境污染构成威胁。与常用的汞灯相比，准分子灯具有许多优点。准分子的一个特定特征是在基电子态中不存在强键。因此，可以从等离子体中提取高强度紫外线，而不会产生明显的自吸收。这使得可以有效地将沉积到活性介质的能量转化为紫外线。

172nm准分子灯的特点：
1、红外线发生量少，低温照射;
2、可瞬间点灯，节省待机准备时间;
3、放电管内不充入汞等有害物质，对环境不产生影响;
4、波长短，发光效率高，可产生高能光子，打破分子键，实现光清洗以及光改性；我们拥有好的设计团队，可根据您的现有设备定制功率、长度和直径，选取优良材料制造，质量严格把关。

准分子灯的优点
准分子灯相对于其他紫外线和真空紫外线源的主要优点如下：
紫外线的高平均比功率（每立方厘米活性介质高达1瓦特）；
发射光子的高能量（从3.5到11.5eV）；
半高光谱全宽为2至15nm的准单色；
紫外线的高功率光谱密度；
为特定目的选择紫外线的xxx光谱波长；
由于多种工作准分子的同时激发，多波紫外线的可用性；
没有可见光和红外；
即时实现操作模式；
面发热低；
不含汞。

准分子光源作用原理
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收（激发）越大，越容易引发反应（分解）并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强**大，靶向准，无汞制造，绿色环保，可回收，没有二次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
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