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真空探针台R-ZTZ350

60x60不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－20mm；z方向调节范围：0－20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

真空探针台R-ZTZ350参数

腔体材质	304不锈钢
上盖开启	铰链侧开
加热台材质	304不锈钢
内腔体尺寸	φ160x90mm
观察窗尺寸	Φ70mm
加热台尺寸	φ60mm
观察窗热台间距	75mm
加热台温度	0-350℃
加热台温控误差	±1℃
真空度	机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
允许正压	≤0.1MPa
真空抽气口	KF25真空法兰
气体进气口	3mm-6mm卡套接头
电信号接头	SMA转BNC X 4
电学性能	绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V  漏电流 ≤-10次方安培
探针数量	4探针
探针材质	镀金钨针
探针尖	10μm
X轴移动行程	30mm    ±15mm
X轴控制精度	≤0.01mm
Y轴移动行程	13mm    ±12.5mm
Y轴控制精度	≤0.01mm
Z轴移动行程	13mm    ±12.5mm
Z轴控制精度	≤0.01mm

 

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目前公司主要产品有：石英试管封口机，真空探针台，真空加热腔，磁控溅射仪，真空镀膜仪等
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