一般洁净度在10000级到100000级,温湿度控制严格,需要很高的洁净工艺; 由于电子元器件工艺生产技术的特殊性,它对生产环境,如洁净度、温度、湿度都有严格的要求,这直接关系到晶圆产品的质量和寿命,**严格控制在要求范围之 内。在工程设计中,暖通空调**担负着**生产区洁净度等级和温度、湿度要求的使命。 洁净室系统采用集中送风形式。 **送侧下回风形式; 过滤系统如何选择 洁净室系统采用集中送风形式。 **送侧下回风形式; 维护结构如何选择 1.万级、十万级洁净室墙、**板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,阴角全部选用圆弧连接;采用回风立柱为回风技术夹道; 2.地面:一般为pvc防静电地板或2mm环氧树脂自流平地面; 净化参数 换气次数:100000级≥18次,10000级≥25次;;。 压差:主车间对相邻房间≥10Pa 温度 冬季>16℃;夏季 <26℃; 湿度:不**过50%;噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度:不**300LX;