HAMAMATSU 日本滨松EMMI/OBIRCH微光显微镜PHEMOS系列

           PHEMO000 微光显微镜          

 

PHEMO000 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致**的微弱光和热来定位失效位置。由于 PHEMO000 可与通用探测仪结合使用，因此您可以使用您已经熟悉的样品设置来执行各种分析任务。安装可选的激光扫描系统可以采集高分辨率图案图像。不同类型的探测器可用于各种分析技术，例如**分析、热分析和 IR-OBIRCH 分析。PHEMO000 支持从探针插座板到大型 300 mm 晶圆探针的各种任务和用途。

 

特点

● 可安装两个**高灵敏度相机

● 可安装多达 3 种波长的激光器和 EOP 探针光源

● 配备适用于不同样品的光学载物台

 

选项

● 包括激光扫描系统

● 使用高灵敏度近红外相机进行微光**分析

● 使用高灵敏度中红外相机进行热分析

● IR-OBIRCH 分析

● 通过激光辐照进行动态分析

● EO 探测分析

● 使用 NanoLens 进行高分辨率和高灵敏度分析

● 连接到 导航

● 连接到 LSI 测试仪

 

显示功能

叠加显示/对比度增强功能

PHEMO000 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。对比度增强功能使图像较清晰、较细腻。 显示功能 ● 注释：评论、头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。 ● 刻度显示：刻度宽度可以使用分段显示在图像上。 ● 网格显示：垂直和水平网格线可以显示在图像上。 ● 缩略图显示：图像可以存储和调用为缩略图，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。 ● 分屏显示：图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像可以一次显示在 4 窗口屏幕中。

 

 

详细参数

尺寸/重量	主机：1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H)，约 1500 kg 控制架：880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H)，约 150 kg 操作台：1000 mm (W)×800 mm (H)×700 mm (D)，约 45 kg
线路电压	交流 200 V (50 Hz/60 Hz)
功耗	约 1400 VA（较大 3300 VA）
真空度	约 80 kPa 或以上
压缩空气	0.5 MPa ～ 0.7 MPa

*PHEMO000 主机的重量包括探针或同等物品。

 

 

 

 

            PHEMOS-X 微光显微镜          

 

PHEMOS，能够适应未来

PHEMOS-X 是一款高分辨率微光显微镜，它能通过探测半导体器件缺陷导致**的微弱光和热来定位失效位置。

 

特点

可安装两个**高灵敏度相机

通过涵盖不同的**分析和热分析检测波长范围，从而可以轻松选择与样品和故障模式相匹配的分析技术。

 

 

可安装多达 5 个 OBIRCH、DALS 和 EOP 光源

 

 

专为**设备设计的高精度载物台

 

光学载物台的工作范围

 

X	±20 mm
Y	±20 mm
Z	+80 mm

* 由于使用了探针台，加上样品台或 NanoLens 安装的干涉，工作范围可能窄于这些值。

 

基本显示功能

叠加显示/对比度增强功能

* 实际显示功能可能因软件版本、环境等因素而异。

PHEMOS-X 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。  对比度增强功能使图像较清晰、较细腻。   显示功能 ● 注释：评论、头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。 ● 刻度显示：可以在图像段显示刻度宽度。   ● 网格显示：可以在图像上显示垂直和水平网格线。 ● 缩略图显示：图像可以存储为缩略图并进行调用，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。 ● 拆分屏幕显示：可以在 6 窗口屏幕中一次显示图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像。

 

 

 

 

LSI 测试仪连接示例

随着设备变得日益复杂，在设备运行时日益需要连接 LSI 测试仪进行分析，以便找到特定部位发生的故障。

可以通过短电缆以及专为使用 PHEMOS-X 光学器件进行分析而设计的探头卡适配器，将 LSI 测试仪连接到 PHEMOS-X。

 

 

似空科学仪器（上海）有限公司是一家仪器设备的方案提供商，我们致力于为中国制造业和研发机构提供高性能、符合人体工学设计的仪器设备及解决方案。我们为客户提供的仪器进口贸易服务，同时可以根据客户的设备应用场景、生产和研发规划，为客户的仪器选型提供的咨询。似空科学的技术团队也可以为客户提供激光加工、电子控制、系统软件或者特定失效分析仪器的定制开发。仪器设备发展的限是探测手段和传感器不对被测目标产生任何干扰，企业管理的某种境界是一切以市场为**，不以自我的意愿抗拒市场的趋势，代替客户的喜好，于是我们取名“似空”，希望以忘我的精神服务客户。我们梦想有朝一日，能够充分掌握市场需求，深刻理解仪器设备的技术原理，聚集一批有、有理想、有技术的人，为中国的制造业升级以及中国科研走向世界水平，提供自有知识产权的仪器设备！